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產(chǎn)品中心

Product Center

當前位置:首頁產(chǎn)品中心材料樣品處理等離子清洗機KT-Z5KQX2路質(zhì)量流量計500w等離子清洗機

2路質(zhì)量流量計500w等離子清洗機

產(chǎn)品簡介

2路質(zhì)量流量計500w等離子清洗機,在真空腔體里,通過射頻電源在一定的壓力情況下起輝產(chǎn)生高能量的無序的等離子體,通過等離子體轟擊被清洗產(chǎn)品表面.以達到清洗目的

產(chǎn)品型號:KT-Z5KQX
更新時間:2024-03-29
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
訪問量:1135
詳細介紹在線留言
品牌鄭科探產(chǎn)地類別國產(chǎn)
應用領(lǐng)域綜合

2路質(zhì)量流量計500w等離子清洗機

等離子體是物質(zhì)的一種存在狀態(tài),通常物質(zhì)以固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)三種狀態(tài)存在,但在一些特殊的情況下有第四種狀態(tài)存在,如地球大氣電離層中的物質(zhì)。等離子體狀態(tài)中存在下列物質(zhì):處于高速運動狀態(tài)的電子;處于激活狀態(tài)的中性原子、分子、原子團(自由基);離子化的原子、分子;未反應的分子、原子等,但物質(zhì)在總體上仍保持電中性狀態(tài)。等離子清洗/刻蝕機產(chǎn)生等離子體的裝置是在密封容器中設(shè)置兩個電極形成電場,用真空泵實現(xiàn)一定的真空度,隨著氣體愈來愈稀薄,分子間距及分子或離子的自由運動距離也愈來愈長,受電場作用,它們發(fā)生碰撞而形成等離子體,這些離子的活性很高,其能量足以破壞幾乎所有的化學鍵,在任何暴露的表面引起化學反應,不同氣體的等離子體具有不同的化學性能,如氧氣的等離子體具有很高的氧化性

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2路質(zhì)量流量計500w等離子清洗機KT-Z5KQX


供電電源

AC220V(AC110V可選)

工作電流

整機工作電流不大于3.5A(不含真空泵)

射頻電源功率

500W可調(diào)

射頻頻率

40kHz

耦合方式

電容耦合

真空度

≤30Pa

腔體容積

5L(內(nèi)徑 152mmX 深度 280mm)

載物規(guī)格

125mmX260mm

氣體流量

0—50ml/min(其他量程可選)

氣體路數(shù)

2 路質(zhì)量流量計+精密流量控制閥

過程控制

自動控制

清洗時間

手動開關(guān)

開蓋方式

鉸鏈側(cè)開式法蘭

真空室溫度

小于65°C

外形尺寸

450x450x250mm

冷卻方式

強制風冷

標配

KF16真空管1米,kf16卡箍2個,不銹鋼網(wǎng)匣1個,電源線一根,說明書一本,機械泵一臺

















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